Method for correcting alignment of substrate to be exposed, and exposure device

WO2013018762 Art A1 7. Februar 2013

Anmelder: V Technology Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013018762
Aktenzeichen: EP12820314
Anmeldetag: 30. Juli 2012
Veröffentlichung: 7. Februar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: V Technology Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

349 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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