Determining thin film stack functional relationships for measurement of chemical composition
WO2013019349
Art A1
7. Februar 2013
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013019349
- Aktenzeichen
- EP12819392
- Anmeldetag
- 28. Juni 2012
- Veröffentlichung
- 7. Februar 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/00G01N21/17G01N21/41
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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