Systems having multi-linkage robots and methods to correct positional and rotational alignment in multi-linkage robots

WO2013022622 Art A2 14. Februar 2013

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013022622
Aktenzeichen: EP12821464
Anmeldetag: 27. Juli 2012
Veröffentlichung: 14. Februar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B65G49/07B25J9/06B25J13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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