Method and system for characterizing efficiency impact of interruption defects in photovoltaic cells

WO2013022711 Art A1 14. Februar 2013

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013022711
Aktenzeichen
EP12822804
Anmeldetag
2. August 2012
Veröffentlichung
14. Februar 2013
Rechtsraum
WO
IPC
G01R31/26H01L31/042H01L31/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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