Intermittent temperature control of movable optical elements

WO2013022892 Art A1 14. Februar 2013

Anmelder: Nikon Corporation, Yamada, Atsushi 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013022892
Aktenzeichen: EP12821395
Anmeldetag: 7. August 2012
Veröffentlichung: 14. Februar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03B27/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Yamada, Atsushi
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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