Component manufacturing method and component

WO2013024837 Art A1 21. Februar 2013

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013024837
Aktenzeichen: EP12823434
Anmeldetag: 13. August 2012
Veröffentlichung: 21. Februar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/60C23C14/06C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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