Replica temperature sensing for oven-controlled mems device

WO2013026899 Art A1 28. Februar 2013

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013026899
Aktenzeichen: EP12762545
Anmeldetag: 23. August 2012
Veröffentlichung: 28. Februar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H03H9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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