Pattern forming method

WO2013027653 Art A1 28. Februar 2013

Anmelder: Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd., Central Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013027653
Aktenzeichen: EP12825145
Anmeldetag: 16. August 2012
Veröffentlichung: 28. Februar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/8247H01L21/28H01L21/3065H01L21/3213H01L21/336H01L21/768H01L27/115H01L29/423H01L29/49H01L29/788H01L29/792

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Central Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Dainippon Screen Mfg

Dainippon Screen Mfg war ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Halbleiter und Druckvorstufe, ein Vorläufer des heutigen SCREEN-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Nachrichten- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2014 ab.

275 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

1.099 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von