Systems and methods for supplying phosphine for fumigation applications

WO2013028245 Art A2 28. Februar 2013

Anmelder: Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013028245
Aktenzeichen: EP12825148
Anmeldetag: 12. Juni 2012
Veröffentlichung: 28. Februar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: C01B25/06A01N59/26A01M13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Advanced Technology Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik

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