Object transportation device, object processing device, exposure device, method for producing flat panel display, method for producing device, method for transporting object, and method for exchanging object

WO2013031222 Art A1 7. März 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013031222
Aktenzeichen: EP12827260
Anmeldetag: 30. August 2012
Veröffentlichung: 7. März 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B65G49/06G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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