Polymerizable monomer, polymer, resist using same, and pattern forming method therefor

WO2013031878 Art A1 7. März 2013

Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013031878
Aktenzeichen: EP12826957
Anmeldetag: 30. August 2012
Veröffentlichung: 7. März 2013
Rechtsraum: WO
IPC: C08F20/10C07C69/54G03F7/004G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Central Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

1.099 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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