A system and a method for depositing a layer on a substrate

WO2013032406 Art A1 7. März 2013

Anmelder: National University of Singapore 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013032406
Aktenzeichen: EP12826710
Anmeldetag: 31. August 2012
Veröffentlichung: 7. März 2013
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/513H05H1/24H05H1/42C23C16/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National University of Singapore
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 National University of Singapore

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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