Test object for testing an array of beams

WO2013032949 Art A1 7. März 2013

Anmelder: Applied Materials Israel Ltd., Carl Zeiss SMT GmbH 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013032949
Aktenzeichen: EP12826792
Anmeldetag: 24. August 2012
Veröffentlichung: 7. März 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/225

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Applied Materials Israel Ltd.
Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇮🇱 Israel

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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