WO2013035841

WO2013035841 Art A1 14. März 2013

Anmelder: Tamura Corporation, National Institute of Information and Communication Technology, Kyoto University, Tokyo Institute of Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013035841
Aktenzeichen: EP12830280
Anmeldetag: 7. September 2012
Veröffentlichung: 14. März 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/338H01L21/203H01L29/778H01L29/812

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tamura Corporation
National Institute of Information and Communication Technology
Kyoto University
Tokyo Institute of Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyoto University

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🇯🇵 Tokyo Institute of Technology

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Fachgebiete

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