WO2013035843
WO2013035843
Art A1
14. März 2013
Anmelder: Tamura Corporation, National Institute of Information and Communications Technology, Kyoto University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013035843
- Aktenzeichen
- EP12829351
- Anmeldetag
- 7. September 2012
- Veröffentlichung
- 14. März 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/336H01L21/20H01L21/203H01L21/36H01L21/385H01L21/425H01L29/786
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Tamura Corporation
National Institute of Information and Communications Technology
Kyoto University - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kyoto University
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