Shape measurement device, structure manufacturing system, shape measurement method, structure manufacturing method, shape measurement program, and computer-readable recording medium

WO2013035847 Art A1 14. März 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013035847
Aktenzeichen: EP12829855
Anmeldetag: 7. September 2012
Veröffentlichung: 14. März 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/25G06T1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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