Block copolymers and lithographic patterning using same

WO2013036555 Art A1 14. März 2013

Anmelder: Cornell University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013036555
Aktenzeichen: EP12829755
Anmeldetag: 6. September 2012
Veröffentlichung: 14. März 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/26G03F7/004C09D125/04C08F212/08C08F214/18H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cornell University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cornell University

Die Cornell University ist eine private Universität in Ithaca, New York (USA), die in Forschung und Lehre über zahlreiche natur- und ingenieurwissenschaftliche Fachrichtungen aktiv ist.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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