Scanning Electron Microscope

WO2013038961 Art A1 21. März 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013038961
Aktenzeichen
EP12831994
Anmeldetag
5. September 2012
Veröffentlichung
21. März 2013
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/20H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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