Directed assembly of block copolymer films between a chemically patterned surface and a second surface

WO2013040483 Art A1 21. März 2013

Anmelder: Wisconsin Alumni Research Foundation, Hitachi, Ltd., De Pablo, Juan Jose 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013040483
Aktenzeichen
EP12769807
Anmeldetag
14. September 2012
Veröffentlichung
21. März 2013
Rechtsraum
WO
IPC
B82Y30/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Wisconsin Alumni Research Foundation
Hitachi, Ltd.
De Pablo, Juan Jose
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Wisconsin Alumni Research Foundation

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