Sub-wavelength extreme ultraviolet metal transmission grating and manufacturing method thereof

WO2013040748 Art A1 28. März 2013

Anmelder: Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013040748
Aktenzeichen: EP11872720
Anmeldetag: 20. September 2011
Veröffentlichung: 28. März 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/18G03F7/20G03F7/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences

Chinesisches Forschungsinstitut der Chinese Academy of Sciences mit Schwerpunkt auf Mikroelektronik und Halbleitertechnologie. Patente betreffen Chipdesign und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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