Calibrating method and device for the on-line film thickness measuring system

WO2013040827 Art A1 28. März 2013

Anmelder: Tsinghua University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013040827
Aktenzeichen: EP11872547
Anmeldetag: 8. November 2011
Veröffentlichung: 28. März 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01B7/06H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tsinghua University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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