Imprint apparatus and article manufacturing method using same

WO2013042350 Art A1 28. März 2013

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013042350
Aktenzeichen: EP12833068
Anmeldetag: 18. September 2012
Veröffentlichung: 28. März 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C59/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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