Scaling device
WO2013042563
Art A1
28. März 2013
Anmelder: Toray Engineering Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013042563
- Aktenzeichen
- EP12833443
- Anmeldetag
- 10. September 2012
- Veröffentlichung
- 28. März 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01D5/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Toray Engineering Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toray Engineering
Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.
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