Verfahren zur Bestimmung der Dicken von Schichten eines Schichtsystems

WO2013045433 Art A1 4. April 2013

Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013045433
Aktenzeichen
EP12772257
Anmeldetag
25. September 2012
Veröffentlichung
4. April 2013
Rechtsraum
WO
IPC
G01B11/06G05B13/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

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