Verfahren zum Magnetronsputtern mit Ausgleich der Targeterosion

WO2013045493 Art A1 4. April 2013

Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013045493
Aktenzeichen: EP12772896
Anmeldetag: 26. September 2012
Veröffentlichung: 4. April 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/34C23C14/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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