Tungsten diazabutadiene precursors, their synthesis, and their use for tungsten containing film depositions
WO2013046155
Art A1
4. April 2013
Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013046155
- Aktenzeichen
- EP12787095
- Anmeldetag
- 27. September 2012
- Veröffentlichung
- 4. April 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C07F11/00C23C16/18
Abstract
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Anmelder
- Firma
- L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
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