Tungsten diazabutadiene precursors, their synthesis, and their use for tungsten containing film depositions

WO2013046155 Art A1 4. April 2013

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013046155
Aktenzeichen
EP12787095
Anmeldetag
27. September 2012
Veröffentlichung
4. April 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C07F11/00C23C16/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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