Vaporizer

WO2013046517 Art A1 4. April 2013

Anmelder: Fujikin Incorporated, Tohoku University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013046517
Aktenzeichen: EP12836997
Anmeldetag: 24. Juli 2012
Veröffentlichung: 4. April 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/448

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Fujikin Incorporated
Tohoku University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

2.159 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von