Cross-sectional shape estimating method and cross-sectional shape estimated device

WO2013047047 Art A1 4. April 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013047047
Aktenzeichen
EP12835353
Anmeldetag
27. August 2012
Veröffentlichung
4. April 2013
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/22G01B11/24G01B15/04G01N23/04G01N23/225
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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