Thermal spray powder and film that contain rare-earth element, and member provided with film

WO2013047588 Art A1 4. April 2013

Anmelder: Fujimi Incorporated, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013047588
Aktenzeichen: EP12836408
Anmeldetag: 26. September 2012
Veröffentlichung: 4. April 2013
Rechtsraum: WO
IPC: C23C4/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fujimi Incorporated
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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