Thermal spray powder and film that contain rare-earth element, and member provided with film

WO2013047589 Art A1 4. April 2013

Anmelder: Fujimi Incorporated, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013047589
Aktenzeichen
EP12836973
Anmeldetag
26. September 2012
Veröffentlichung
4. April 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C23C4/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fujimi Incorporated
Tokyo Electron Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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