Nanoimprinting mold, method for producing the nanoimprinting mold, nanoimprinting method using the nanoimprinting mold, and method for producing patterned substrates

WO2013047712 Art A1 4. April 2013

Anmelder: FUJI-FILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013047712
Aktenzeichen: EP12834640
Anmeldetag: 21. September 2012
Veröffentlichung: 4. April 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C33/58B29C59/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJI-FILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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