Nanoimprinting method, nanoimprinting apparatus for executing the nanoimprinting method, and method for producing patterned substrates
WO2013047851
Art A1
4. April 2013
Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013047851
- Aktenzeichen
- EP12834723
- Anmeldetag
- 21. September 2012
- Veröffentlichung
- 4. April 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/027B29C59/02G11B5/84
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FUJIFILM Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujifilm
Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.
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