Post-cmp cleaning apparatus and method
WO2013049207
Art A2
4. April 2013
Anmelder: ENTEGRIS, INC., Patel, Chintan 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013049207
- Aktenzeichen
- EP12834864
- Anmeldetag
- 26. September 2012
- Veröffentlichung
- 4. April 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304H01L21/302
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS, INC.
Patel, Chintan - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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