Measuring method, data processing apparatus and electron microscope using same

WO2013051456 Art A1 11. April 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013051456
Aktenzeichen
EP12839010
Anmeldetag
27. September 2012
Veröffentlichung
11. April 2013
Rechtsraum
WO
IPC
G01B15/04G01B15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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