Underlay film composition for imprints and method of forming pattern and pattern formation method using the same

WO2013051735 Art A1 11. April 2013

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013051735
Aktenzeichen: EP12837845
Anmeldetag: 5. Oktober 2012
Veröffentlichung: 11. April 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C59/02C08F2/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

21.764 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

Vertreten von