Techniques for sub-cooling in a superconducting system

WO2013052354 Art A1 11. April 2013

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013052354
Aktenzeichen: EP12780334
Anmeldetag: 28. September 2012
Veröffentlichung: 11. April 2013
Rechtsraum: WO
IPC: F25D19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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