Vacuum treatment device

WO2013054776 Art A1 18. April 2013

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013054776
Aktenzeichen: EP12840228
Anmeldetag: 9. Oktober 2012
Veröffentlichung: 18. April 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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