Plasma treatment method

WO2013054802 Art A1 18. April 2013

Anmelder: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013054802
Aktenzeichen: EP12839617
Anmeldetag: 10. Oktober 2012
Veröffentlichung: 18. April 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/316C23C16/44H01L21/31H01L21/318H01L21/8246H01L27/105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von