Method of creating two dimensional doping patterns in solar cells

WO2013055627 Art A1 18. April 2013

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013055627
Aktenzeichen
EP12778884
Anmeldetag
8. Oktober 2012
Veröffentlichung
18. April 2013
Rechtsraum
WO
IPC
H01L31/18H01L31/0224H01L31/068H01J37/317H01L21/266
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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