Capacitive inspection of euv photomasks

WO2013055708 Art A1 18. April 2013

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013055708
Aktenzeichen: EP12839299
Anmeldetag: 9. Oktober 2012
Veröffentlichung: 18. April 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F1/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA - Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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