Programmable Photolithography

WO2013056238 Art A2 18. April 2013

Anmelder: University of Utah Research Foundation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013056238
Aktenzeichen: EP12840115
Anmeldetag: 15. Oktober 2012
Veröffentlichung: 18. April 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/26G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: University of Utah Research Foundation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Utah Research Foundation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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