Mirror with piezoelectric substrate, optical arrangement therewith and associated method

WO2013057046 Art A1 25. April 2013

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013057046
Aktenzeichen: EP12783141
Anmeldetag: 12. Oktober 2012
Veröffentlichung: 25. April 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08C04B35/472C04B35/499C30B29/32G21K1/06H01L41/187G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von