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WO2013057859 Art A1 25. April 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013057859
Aktenzeichen
EP12841864
Anmeldetag
17. August 2012
Veröffentlichung
25. April 2013
Rechtsraum
WO
IPC
H04N5/369G03B15/00G03B35/08H01L27/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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