Acquisition of information for a construction site

WO2013059160 Art A1 25. April 2013

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013059160
Aktenzeichen
EP12841379
Anmeldetag
16. Oktober 2012
Veröffentlichung
25. April 2013
Rechtsraum
WO
IPC
G01S17/06
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA - Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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