Apparatus for burning film and method for burning film

WO2013061854 Art A1 2. Mai 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013061854
Aktenzeichen: EP12843898
Anmeldetag: 18. Oktober 2012
Veröffentlichung: 2. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: B05C9/14B05C9/12B05D3/02H01L31/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von