Monomer coupled with thermal acid generator, polymer gained from monomer coupled with thermal acid generator, composition for resist underlayer film including polymer, and method for forming pattern using composition for resist underlayer film
WO2013062255
Art A2
2. Mai 2013
Anmelder: Cheil Industries Inc. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013062255
- Aktenzeichen
- EP12843494
- Anmeldetag
- 12. Oktober 2012
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C07C309/29C08G61/12G03F7/26G03F7/00C07C309/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Cheil Industries Inc.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Cheil Industries Inc.
Ehemaliges südkoreanisches Chemie- und Materialunternehmen der Samsung-Gruppe, 2015 in Samsung C&T Corporation aufgegangen und heute nicht mehr eigenständig tätig.
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