Component temperature control using a combination of proportional control valves and pulsed valves

WO2013062870 Art A1 2. Mai 2013

Anmelder: Applied Materials, Inc., Mahadeswaraswamy, Chetan 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013062870
Aktenzeichen: EP12843704
Anmeldetag: 19. Oktober 2012
Veröffentlichung: 2. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: F24F11/02F24F7/10H01L21/02F24F5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Mahadeswaraswamy, Chetan
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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