Method for producing thin layers of crystalline or polycrystalline materials

WO2013063360 Art A1 2. Mai 2013

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013063360
Aktenzeichen: EP12787259
Anmeldetag: 26. Oktober 2012
Veröffentlichung: 2. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/02C23C16/24C23C16/01H01L21/762

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Massachusetts Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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