Method for preparing superfine line

WO2013063838 Art A1 10. Mai 2013

Anmelder: Peking University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013063838
Aktenzeichen: EP11875029
Anmeldetag: 30. November 2011
Veröffentlichung: 10. Mai 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/306C23C16/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Peking University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Peking University

Peking University ist eine chinesische Eliteuniversität in Peking mit breiter Forschung und Patenten in zahlreichen Technologiefeldern, unter anderem Biotechnologie und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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