Single crystal manufacturing method

WO2013065232 Art A1 10. Mai 2013

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013065232
Aktenzeichen
EP12845687
Anmeldetag
2. Oktober 2012
Veröffentlichung
10. Mai 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C30B15/10C30B29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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